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三公大吃小如何调整心态:光刻机巨擘:全方位支援中国「造芯」

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  左ASML在进博会的展台通过元宇宙让观众走进光刻机的无尘室。右荷兰光刻机制造商ASML在本届进博会的展台。\大公报记者夏微摄

  光刻机是半导体行业芯片制造的重要设备。作为业内光刻机巨头,在第五届中国国际进口博览会期间,荷兰光刻机制造商ASML首次通过「元宇宙」平台,为参观者带来沉浸式的光刻体验。自1988年交付首台步进式光刻机以来,ASML已支持中国市场三十余年,见证、亲历和支持了中国半导体产业的发展。ASML表示,中国有全世界最大的终端市场,最活跃的应用市场,可以反向推动设计、制造的创新,「带来的机遇大有可为。」未来ASML将继续以开放与专注的精神投入中国市场,共同推动半导体技术突破边界。\大公报记者 夏微上海报道

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  今年已是ASML第四次参加进博会,特别是自去年进博会设置了集成电路专区后,ASML更加看重「进博时刻」,现场工作人员欣喜道,「这里集合了领域内众多世界知名企业,我们可以和产业上下游的友商们进行充分的交流沟通。」同时也希望进一步展示其全方位光刻解决方案和服务,深化与本土客户的合作。

  打造元宇宙 「开箱」光刻机

  就ASML自身而言,四年的参展经历,也让企业十分重视如何给参观者带来全新体验。于是在本届进博会上,ASML首次展示了其元宇宙空间,在ASML元宇宙空间里,观众可以「亲身」进入无尘室,近距离接触神秘的光刻机,「开箱」窥探机器工作时的内部状态─光源经过照明模组投向掩模版,再穿过掩模版上的电路图案,通过投影物镜将影像聚焦到晶圆上。

  一旁的互动显示屏,更是增强了参观者的体验感,让不了解光刻的人能通过H5虚拟课堂等互动形式学习到新知识,充分了解ASML「铁三角」业务──包括配备先进工艺控制能力的光刻机台,计算光刻、光学和电子束量测的全方位光刻解决方案。

  深植中国本土 员工超1500人

  据了解,目前ASML公司在中国的本地团队能够解决超过95%的客户问题。在华DUV(深紫外光刻机)安装、升级、迁移服务已实现完全本土化。公司已在中国内地设了15个办事处、11个仓储物流中心、3个开发中心,1个培训中心以及1个维修中心,员工人数超过1500人。

  作为持续支持中国市场多年的企业,进博会期间,ASML在接受观察者网采访时特别提及,中国市场在推动全球半导体产业发展上具有十分重要的作用。ASML中国区总裁沈波在本届进博会上接受媒体采访时也曾表示,中国已是全世界最大的成熟制程(28纳米及以上的工艺)市场,在整个半导体产业链中扮演非常重要的角色,发展潜力巨大,是所谓「不确定性中的确定性」。

  沈波说,中国有全世界最大的终端市场,最活跃的应用市场,终端市场应用市场可以反过来推动上游的设计、制造这些方面的发展创新,「这都是中国可以做的事情。」例如中国大陆新能源汽车规模巨大,现在新能源汽车变成非常重要的半导体载体,「这样的规模是没有其他地方可以相比的。这些终端市场带来的机遇,大有可为。」

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